◎產品系列◎   ◎實績

  設備功能改善----曝光機整修1

●問題
--曝光機落塵量0.5μ 1,700顆以上(標準100顆以內),影響曝光品質
--原來問題:HEPA送風量不足,沒有抽氣,生產環境空氣沒有對流,
   外圍機器風壓過大,廢氣回流
--曝光平台機構機能不足
--控制系統不可靠

 

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