Ａ.加裝抽氣裝置：帶走機構動作產生的粉塵，保持正壓，維持流暢氣流
Ｂ.增加2台HEPA，導引進退料室潔淨空氣至曝光室，增設排氣導引管路
Ｃ.改善結果：落塵量0.5μ 60/15顆，收集10分鐘
Ｄ.更換曝光平台元件及修改更新控制程式