◎產品系列◎   ◎實績

  設備功能改善-----曝光機整修2

A.加裝抽氣裝置:帶走機構動作產生的粉塵,保持正壓,維持流暢氣流
B.增加2台HEPA,導引進退料室潔淨空氣至曝光室,增設排氣導引管路
C.改善結果:落塵量0.5μ 60/15顆,收集10分鐘
D.更換曝光平台元件及修改更新控制程式

 

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